广东医院无尘车间专业规划设计

　　由于每种工艺制程设备的发热量大不相同，导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间)，因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC，在建筑已经确定的情况下，制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许，好是将不同制程的区域隔开，这样既可避免金属粒子污染，又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下， 洁净室的温湿度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃，在与循环风混合后，FFU

　　无尘车间的净化工程是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把 空气中微粒子、有害空气、细菌等其他污染物排除室外，并将室内无尘度、温度、湿度、室内压力、气流的速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电的控制在某一需求范围内。

　　不会因温度变化与振动而发生裂痕；不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；为了维持室内之湿度条件，热缘性要高；洁净室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是的要求。

　　每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下，就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内，这也就是业内俗称的1K级别。随着我国电子工业飞速发展以及产品供过于求，各项产品竞争日趋激烈，打赢这场竞争关键是产品质量和价格:洁净度是电子产品生产前提条件，而低成本则是产品价格基础。下面介绍一下我们在此方面一些管理经验，以供大家参考。      洁净度管理         我们生产车间要求空调洁净度为3000（英制，下同）及5000级，安装厂家调试时均按实际设汁数据确定，如:过滤器出口为lm/s左右风速；回风口为2m/s左右风速，起初投产及中批量生产时，洁净度能达到要求。调试厂家撤离后，随着产量增加，洁净度逐渐达不到要求，加之设备改造升级，实际产量超过设计产量时洁净度问题更加突出，部分工位洁净度甚降到100万级；且该区域周围大面积洁净度超标，公司由于担心出现产品质量问题一度停产，外方专家对超标原因进行各种推测，没有找到原因。