湖南电子洁净车间专业车间施工团队

　　洁净区人员进入洁净区之前，把外套脱去，换上白工作服，再通过通道换鞋柜，坐在柜上进行换室内鞋操作。换好室内鞋后，如需进入洁净室，则进入更室内;如需在非洁净区内操作，则直接通过走廊，在非洁净区内工作。男生进入男更衣室，女生进入女更衣室。更室的换洁净鞋步骤如下:先打开门进入后，立即关上门;把室内鞋脱下后放靠入口的鞋柜内，双脚不要着地，把净化区鞋穿上，再把手清洗干净并烘干。准备进入第二更室进行换洁净服。

　　湿度处理———包括一次表冷盘管、二次表冷盘管、蒸汽加湿三部分。预热盘管的作用是对外气进行预加热。在外界气温较低，接近零度时，为了避免盘管在气温低于零度时被冻坏，需对外气进行加热，通常是加热到12℃。控制送风温度时，将送风温度与其设定值进行比较，通过PID控制算法，得出一个计算值，根据该计算值来确定一次表冷盘管与再热盘管阀门开度的大小，其控制流程如图4 所示。在整个PID 闭环控制环节中引入分程控制器模型，如图5 所示，将PID

　　出口新风湿度进行调节，将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较，由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度，其计算过程与温度设定值的计算过程类似，然后配合MAU 出口新风温度设定值，计算出MAU 的出口露点温度设定值， 由此来控制MAU 出口的湿度。实际应用中，通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节，发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点,没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。