时间:2023-08-07 19:47
常德注塑净化车间装修生产厂家
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
在精密机械加工和计量等场合,为了因热膨胀而引起的误差,使工件保持一定的温度(temperature)。工件温度的允许波动幅度应根据加工精度决定。例如,在恒温室里对一根长500mm的标准尺刻线,工艺允许线间公差为2um,其中lum为尺温变化所引起的形变误差,另1um为加工与量测误差。1um折合尺温变化量=0。20C[a为尺线膨胀系数,取10/um/(m?K);l为尺长,m],故工件温度变化需在以内。但由于工件测量仪器等都有一定的热惰性,空气温度的波动传人工件后,就要衰减。在设计恒温系统时,一般总是以恒定环境空气温度为依据,故相应的环境温度精度可比工件允许的温度精度低一些。
空气清洁度可采用光散射粒子计数器来测量。光散射粒子计数器采样量100级:每次采样量大于或等于1升。l,000级-l0,000级:每次采样量大于或等于0.3升。100,000级:每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净室,宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时,可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。根据不同SMT工厂的大小不同,以及产品加工的类型不同,对车间的洁净度会有不同的要求,有些是10万级,有些是50万级。
半导体 晶圆车间设计布要点 | CEIDI西递洁净室主要的作用就在其能控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产。在晶圆车间中,为了解决晶圆测试中良率不佳、测试结果不稳定,探针测试卡的损毁及晶圆的报废这些问题,洁净室及辅助室的设计就该是厂区建设的首要任务之一。越是大的从事晶圆生产的企业对整个工厂自动化、智能化程度要求越高,所以对半导体洁净生产车间的设计师来说,动辄几百亿投资的晶圆厂区做怎样的合理规划、系统架设以提高整个洁净工厂的空间利用率、减少机台的闲置时间、提升产品的良率是他们设计的重中之重。当然这些内容也是工厂设计定稿前需要与厂家重点探讨研究的问题。晶圆车间对生产环境的温度、湿度、洁净度、防微振等均有着严格的控制要求,且各种配套系统繁多复杂。CEIDI西递设计师常规也会采用FAB布设计。大多数FBA工厂都是四层结构,从上至下分别为:上技术夹层,洁净生产层,洁净下技术夹层和非洁净下技术夹层。