时间:2023-08-05 20:12
广东注塑净化车间装修生产厂家
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同,导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间),因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC,在建筑已经确定的情况下,制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许,好是将不同制程的区域隔开,这样既可避免金属粒子污染,又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下, 洁净室的温湿度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃,在与循环风混合后,FFU
手术中人员发菌量 878个/ min.人所以,可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不过300个/ min.人,动态发菌量一般不过1000个/ min/人,以此作为计算依据是可行的。洁净室中无尘车间地板、墙面、天花板材料选购的知识对于半导体工业而言,无尘车间是一必要且不可缺之设备,其对空气中的粒子要求之严格,故对天花板、墙壁、地板的要求亦严格。地板是人员、台车及重量的运输,而清除地板所用者大部分为消品及化学品,当我们看见地板磨损时,也就是使用期已太久,快破裂了,不仅会使得清静度的降级,也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。
为不干扰室内的洁净气流型式,在作业区上流侧不应放置物品,回风口附近不要堆放物;送风孔板下不应堵塞和堆放物品,生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。不允许将与生产无关的和容易产尘的物品带入洁净室内。严禁在无尘净化车间内吸烟、饮食和进行非生产性活动。进入无尘净化车间前,个人物品须放入指定的柜子,去掉化妆和首饰,换上指定的洁净服、鞋。戴帽时,应将头发遮住,鞋套应将裤脚下摆紧紧裹在鞋套。