时间:2023-08-04 18:03
洛阳净化工程设计生产厂家
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
存洁具室应定期清洁,由QA检查员(质检员)监督。投料前检查复核:投料前首先检查原辅料是否检验合格,不合格不得投料。核对配比、校验量具是否准确。投料前由专人按质量、配方用量核对物料或中间产品的品名、规格、数量。原始记录要认真填写,操作人、复核人均应在原始记录上签字。车间领料员按领料单领取包装材料,领料时领料员与仓库保管员进行核对,核对品名、规格、批号、数量等,确认无误,做好记录,领回车间。
包装指令:生产部根据生产计划和作业安排,对生产合格的半成品下达批包装指令。包装指令单内容包括:生产车间、产品名称、规格、批量、批号及包装材料名称、物料编号、实际用量、计划包装日期。清场:要求:设备表面无积尘、无污迹、无水迹、无油垢。工器具无污迹、无前次生产遗留物,摆放整齐。天棚(含送风口)、灯具、墙面(含回风口)、门窗、地面、操作台及其他附属设施等无积尘、无污迹、无水迹。清除前次生产剩余原辅料。清除前次生产剩余包装材料、说明书、标签等。清除失效状态标识。清除生产废弃物。整理好生产记录。操作室内无前次生产遗留物,室内不得存放与生产无关的杂物。操作室、设备、工器具、清洁工具要按相应的清洁规程进行清洁。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。