时间:2023-07-24 19:53
芜湖无尘车间装修生产厂家
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
洁净工作服应选产尘量少,又能抗静电的衣料制作,一般1~10万级洁净室内用分装型,100~1000级的用连体型。洁净鞋套好使用一次性的,洁净鞋要求是可洗涤式的。一般地,穿洁净服的人在行走时,表面散发粒子数比穿普通衣服的人减小40—60倍,故此点对高洁净度厂房的维护管理十分重要。洁净工作服要有专人管理,定期检查,清洗。无尘车间设计一般每周清洗一次,通常清洗50~100次后应检查确定是否报废。
在半导体无尘车间的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气(98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。
进出无尘净化车间的管理进入无尘净化车间的人员应严格要求执行人身净化制度、路线和顺序。退出无尘净化车间时,按如上顺序、路线进行,不允许将洁净用品带门厅。若有吹淋室,按规定进行吹淋后,方可进入无尘净化车间内。无尘车间设计同时,严格按照风淋室的规格和使用要求,控制每次进入风淋室风淋的人数,不允许正在风淋室强行关闭运行风机或电源。一般经过风淋,人身表面散发的灰尘粒子数减少40—60%。