时间:2023-07-14 19:59
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参数时通常将积分时间设置为零,以系统过调节而产生振荡。洁净室温度主要由DCC 来调节, 但同时受新风送风温湿度的影响,如果给定太高的温度,进入洁净室和循环风混合后,DCC就需要更大量的冷量进行冷却,这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度, 进入洁净室和循环风混合后, 即使DCC的开度为零,整个洁净室的温度却仍然太低,这将使得整个洁净室的温度超标。新风空调箱温湿度设定值控制
新风空调箱送风温度设定值的选取是比较关键的,它能够佳适应当前洁净室内温度的需求。如果给定太高的温度,进入洁净室和循环风混合后,DCC就需要更大量的冷量进行冷却,这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度,进入洁净室和循环风混合后,即使DCC的开度为零,整个洁净室的温度却仍然太低,这将使得整个洁净室的温度超标。因此,对于MAU新风送风温度设定值的选取是十分重要的,在确保系统在控制范围内并尽可能达到的目的。在此,我们引入模糊控制的思想,通过对洁净室温度偏差及偏差变化率的模糊规则变换,得出新风空调箱送风温度设定值SP。整个程序运行的流程如图7
建好一个无尘车间,首先要根据实际的生产流程设定相应的功能间,同时考虑人流物流的走向和工作效率.在平面方案初步确定的基础上,再确定洁净区与非洁净区,洁净区的洁净等级.然后确定相应的换气次数或是截面风速.然后布置送回风口,设计洁净送风机组(大小,位置,风机空调选型等),设计送回新风管道等.当然强弱电给排水也要设计.然后就是按图施工
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃,湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究,引入模糊控制,以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程,是含湿量保持不变的过程,即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热,温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程,温度下降而相对湿度相应升高,因此我们可以得出,温度和相对湿度是两个不同方向的控制量,要使温湿度同时向相同的趋势变化,