浙江无尘车间装修生产厂

　　进入无尘车间必须了解的事，1.进入无尘车间应穿干净鞋具，不得带油渍、污泥入内；2.室内不得吸烟、饮食和饮水；3.焊接、切割、凿洞等有尘作业必须加以控制，防止碎屑大范围扩散，每天工作结束时应将垃圾搬出室外倒入规定处；4.施工材料堆放整齐；5.室内严禁大小便；6.有违犯以上规定者，应立即取消在无尘车间工作的资格。

　　在半导体无尘车间的建造过程中，除了厂房的主体结构施工外，还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源，包括吹干晶圆及机台空压所需要的，都得使用氮气(98%)，吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。

　　洁净室灭菌对生物洁净室，除对送入洁净室的空气中的生物或非生物微粒数要受到控制，还要对室内器具、地面、墙面、壁板等表面进行处理。空气洁净技术不能杀灭细菌，生物洁净室运行管理中采取、灭菌措施，减少微生物在洁净室中的生存、繁衍。目前，传统灭菌方法为:紫外线灭菌、剂灭菌、加热灭菌和臭氧灭菌法。它们性都很好，应用为广泛。另外，整个被灭菌的洁净室应通过送回风管形成循环状态，每天开机做空气灭菌1—1、5小时;若需对洁净室墙体、地面和设备等表面进行灭菌则需2小时左右。

　　为了达到目标温湿度控制点，其对应的温湿度控制分区处理过程为:在Zone 1 的范围内，先降温去湿，再加热。在Zone 2的范围内，先降温，再加湿。在Zone 3 的范围内，先加热，再加湿。在Zone4 的范围内，先降温去湿，再加热。定义:D—控制对象含湿量，T—控制对象温度。通常情况下， 对于设定值温度22±2℃，湿度45±5%RH 而言，Zone1 和Zone3的情况比较多，即需要先降温去湿然后再加热或者先加热然后再加湿。