时间:2023-07-11 20:24
淮阴洁净室检测议生产厂
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
在精密机械加工和计量等场合,为了因热膨胀而引起的误差,使工件保持一定的温度(temperature)。工件温度的允许波动幅度应根据加工精度决定。例如,在恒温室里对一根长500mm的标准尺刻线,工艺允许线间公差为2um,其中lum为尺温变化所引起的形变误差,另1um为加工与量测误差。1um折合尺温变化量=0。20C[a为尺线膨胀系数,取10/um/(m?K);l为尺长,m],故工件温度变化需在以内。但由于工件测量仪器等都有一定的热惰性,空气温度的波动传人工件后,就要衰减。在设计恒温系统时,一般总是以恒定环境空气温度为依据,故相应的环境温度精度可比工件允许的温度精度低一些。
每一生产操作间、每一盛物容器或包装均应有能够指明正在加工的产品或物料、批号及数量等的状态标识。状态标识由使用部门统一管理,发放至各岗位,各岗位将状态标识存放于各自固定位置,使用时要挂在醒目易观察、不易脱落的位置上,使用后要保持清洁完好。状态改变时要及时更换状态标识。生产状态标识:标明正在生产的情况,有“生产中”标识。生产中:原料提取车间、制剂车间生产时挂于各工序门上,内容包括品名、批号、规格、数量、日期等。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。