湖南净化工程设计生产厂家

　　洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

　　后进入洁净室生产区域，从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器，这些机器都保持持续的运转，会产生大量的热量，这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走， 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制，主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉外，还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和送风混合后的温湿度，以满足半导体工艺的温湿度需求。

　　该测试主要是验布料本身在经过磨擦积累一些电压后，能否在简短的时间内达到一个规定的稳定值，这主要是检验导电丝的质量。测试方法，在的ESD测试台(经过接地)上，测试员用手使用一定的力度和速度对布料表面磨擦若干次(通常5-10次)，然后用的电压测试仪的探头相隔5cm左右对准被摩擦部分，读取第5秒后的电压值。测试标准，半导体行业的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行业有更严格的标准，如晶圆、磁头行业，摩擦电压一般小于20V。

　　出口湿度的设定值。根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较，通过PID控制算法，得出一个计算值，根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小，其控制流程与温度控制类似，同时也引入了分程控制，避免临界状态下加湿与之间不断切换而导致的湿度控制的波动。洁净室温湿度控制洁净室温度控制洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示，采用的是基本的PID 控制， 由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性，在设置PID