枣庄洁净车间设备生产厂

　　洁净室按用途分类可分为工业洁净室和生物洁净室；按气流流型可分为单向流洁净室、非单向流洁净室、辐流洁净室、混合流洁净室。净化工程广泛应生物制药、医疗器械、医院制剂室、手术室、无菌室、食品饮料、化妆品、电子、实验室、电子仪器仪表、计算机房、半导体厂、印刷厂、汽车工业、航天工业、光刻、微机制造等行业。

　　洁净服测试主要包括以下方面的测试ESD性能是评估工衣质量好坏的重要。一般ESD测试有四部分:磨擦电压测试、静电压测试、电阻测试、衰减时间测试。该测试主要是验布料本身在经过磨擦积累一些电压后，能否在简短的时间内达到一个规定的稳定值，这主要是检验导电丝的质量。测试方法，在的ESD测试台(经过接地)上，测试员用手使用一定的力度和速度对布料表面磨擦若干次(通常5-10次)，然后用的电压测试仪的探头相隔5cm左右对准被摩擦部分，读取第5秒后的电压值。

　　在半导体无尘车间的建造过程中，除了厂房的主体结构施工外，还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源，包括吹干晶圆及机台空压所需要的，都得使用氮气(98%)，吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。

　　后进入洁净室生产区域，从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器，这些机器都保持持续的运转，会产生大量的热量，这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走， 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制，主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉外，还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和送风混合后的温湿度，以满足半导体工艺的温湿度需求。