时间:2023-06-26 18:03
莱芜洁净车间设备生产厂
进入无尘车间必须了解的事,1.进入无尘车间应穿干净鞋具,不得带油渍、污泥入内;2.室内不得吸烟、饮食和饮水;3.焊接、切割、凿洞等有尘作业必须加以控制,防止碎屑大范围扩散,每天工作结束时应将垃圾搬出室外倒入规定处;4.施工材料堆放整齐;5.室内严禁大小便;6.有违犯以上规定者,应立即取消在无尘车间工作的资格。
为不干扰室内的洁净气流型式,在作业区上流侧不应放置物品,回风口附近不要堆放物;送风孔板下不应堵塞和堆放物品,生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。不允许将与生产无关的和容易产尘的物品带入洁净室内。严禁在无尘净化车间内吸烟、饮食和进行非生产性活动。进入无尘净化车间前,个人物品须放入指定的柜子,去掉化妆和首饰,换上指定的洁净服、鞋。戴帽时,应将头发遮住,鞋套应将裤脚下摆紧紧裹在鞋套。
在半导体无尘车间的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气(98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。
因此,在确定恒温室参数(parameter)和选择自动控制时,考虑工件恒温恒湿车间、围护结构、空气处理设备和自控系统之间的动态特性。防尘车间是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。
在电子行业制造车间是重要产生静电的地方,通常静电会对产品造成短路甚至会造成员工导电晕倒事故,所以电子行业的无尘车间相对湿度不应低于30%,这样即可以减少静电的产生,通常建议无尘车间的防静电区域相对湿度不低于50%。无尘室优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。过于干燥的空气中易粉尘飞扬,电子厂无尘车间无要求的情况下,温度控制在22℃左右,相对湿度控制在55~60%RH之间,在这种环境下,人们感觉舒适,静电也消失了。