陕西净化工程设计生产厂

　　半导体 晶圆车间设计布要点 | CEIDI西递洁净室主要的作用就在其能控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产。在晶圆车间中，为了解决晶圆测试中良率不佳、测试结果不稳定，探针测试卡的损毁及晶圆的报废这些问题，洁净室及辅助室的设计就该是厂区建设的首要任务之一。越是大的从事晶圆生产的企业对整个工厂自动化、智能化程度要求越高，所以对半导体洁净生产车间的设计师来说，动辄几百亿投资的晶圆厂区做怎样的合理规划、系统架设以提高整个洁净工厂的空间利用率、减少机台的闲置时间、提升产品的良率是他们设计的重中之重。当然这些内容也是工厂设计定稿前需要与厂家重点探讨研究的问题。晶圆车间对生产环境的温度、湿度、洁净度、防微振等均有着严格的控制要求，且各种配套系统繁多复杂。CEIDI西递设计师常规也会采用FAB布设计。大多数FBA工厂都是四层结构，从上至下分别为:上技术夹层，洁净生产层，洁净下技术夹层和非洁净下技术夹层。

　　百级无尘车间:百级无尘车间可用于间可用于制药行业的无菌制造工艺。这一级别的无尘车间广泛应用于植入物的制造，如手术，包括移植和集成器的制造。对细菌感染特别敏感的患者的隔离治 疗，如骨髓移植患者的术后隔离治 疗。

　　洁净工作服应选产尘量少，又能抗静电的衣料制作，一般1～10万级洁净室内用分装型，100～1000级的用连体型。洁净鞋套好使用一次性的，洁净鞋要求是可洗涤式的。一般地，穿洁净服的人在行走时，表面散发粒子数比穿普通衣服的人减小40—60倍，故此点对高洁净度厂房的维护管理十分重要。洁净工作服要有专人管理，定期检查，清洗。无尘车间设计一般每周清洗一次，通常清洗50～100次后应检查确定是否报废。

　　所示,程序运行后，将获得新的SP。基本的模糊控制系统如图8 所示。系统中的模糊控制器是两输入一输出的,其输入量是系统的偏差E 和偏差变化率EC, 而这两个量具有确定的数值,是两个清晰量。整个模糊控制器由四个部分组成:模糊化，模糊规则库，模糊推理及去模糊化。模糊化的作用是将一个确定的点映射为输入空间的一个模糊集合。通过模糊化处理,得到模糊的偏差量E以及模糊的偏差变化率EC。其中模糊的偏差量E 语言值集合有七种取值，分别是NB(负大)、NM(负中)、NS(