时间:2023-05-10 20:16
南阳净化工程设计生产厂家
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同,导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间),因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC,在建筑已经确定的情况下,制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许,好是将不同制程的区域隔开,这样既可避免金属粒子污染,又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下, 洁净室的温湿度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃,在与循环风混合后,FFU
所示,程序运行后,将获得新的SP。基本的模糊控制系统如图8 所示。系统中的模糊控制器是两输入一输出的,其输入量是系统的偏差E 和偏差变化率EC, 而这两个量具有确定的数值,是两个清晰量。整个模糊控制器由四个部分组成:模糊化,模糊规则库,模糊推理及去模糊化。模糊化的作用是将一个确定的点映射为输入空间的一个模糊集合。通过模糊化处理,得到模糊的偏差量E以及模糊的偏差变化率EC。其中模糊的偏差量E 语言值集合有七种取值,分别是NB(负大)、NM(负中)、NS(
该测试主要是验布料本身在经过磨擦积累一些电压后,能否在简短的时间内达到一个规定的稳定值,这主要是检验导电丝的质量。测试方法,在的ESD测试台(经过接地)上,测试员用手使用一定的力度和速度对布料表面磨擦若干次(通常5-10次),然后用的电压测试仪的探头相隔5cm左右对准被摩擦部分,读取第5秒后的电压值。测试标准,半导体行业的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行业有更严格的标准,如晶圆、磁头行业,摩擦电压一般小于20V。
洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的空间。洁净室是特殊的房间,该房间内的空气悬浮粒子浓度、空气温度、湿度、压力等参数均需要控制。空气悬浮粒子是有特定含义的,它是尺寸范围在0.1~5μm的固体和液体粒子,它用于空气洁净度的分级。空气悬浮粒子,有的有生命(如细菌、病毒等),有的无生命(如尘粒)。有生命的微粒其实就是细菌等微生物附着在无生命的尘粒上形成的。