时间:2023-05-08 20:22
梧州洁净车间设备生产厂家
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
不允许下列人员进入无尘净化车间:感冒、咳嗽、湿疹等疾病患者;未按规定洗去化妆品、指甲油和未穿洁净工作服者;作业人员宜经常洗头、换衣、剪指甲。作业人员在无尘净化车间内工作时,动作要轻,严格执行操作程序,不作易发尘的大幅度动作,不要拖足行走,不做不必要的动作;不允许穿洁净工作服上厕所。在无尘净化车间内,要按要求戴手套,不要露出手腕,手套要经常更换。对进入无尘净化车间人员要进行相关的培训教育:掌握所在无尘净化车间特点、构造、洁净技术一般知识,人员净化程序及物料净化路线要求,洁净工作服的使用、清洗要求,无尘净化车间的清扫、清洗和,无尘净化车间的设施及管理规定。
粒子计数器设备分落散布在车间各监控点位,由安装了系统监控软件的主控电脑控制各采集点的工作状态;监控软件可选择设定测试粒径、测试时间、采样间隔、刷新频率、显示单位、采样模式和超限报警等,并可对测试历史数据按需求进行查询、统计、分析及绘制曲线图,并可提供moudbus485通讯协议对接用户物联网平台,供用户自行开发和应用。半导体器件晶圆的生产过程中,易受外来物、灰尘粒子、金属离子等外来物的影响而破坏表面结构,这种产品特性也决定了其制造过程中有洁净度的要求。所以洁净室至于半导体行业是重要的存在。洁净室的洁净度控制不好,会导致空气中的含尘量过高,从而导致外来物的增加,进而影响到生产、测试的准确度、稳定性。严重还会导致探针测试卡的损坏。
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃,湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究,引入模糊控制,以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程,是含湿量保持不变的过程,即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热,温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程,温度下降而相对湿度相应升高,因此我们可以得出,温度和相对湿度是两个不同方向的控制量,要使温湿度同时向相同的趋势变化,