株洲净化工程设计生产厂

　　后进入洁净室生产区域，从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器，这些机器都保持持续的运转，会产生大量的热量，这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走， 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制，主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉外，还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和送风混合后的温湿度，以满足半导体工艺的温湿度需求。

　　卫生工具室清洁按相应的清洁规程进行清洁，保持地面无积水无污物，由QA检查员监督。卫生工具室内存放的清洁工具，每次用过后按清洁规程进行清洁。经清洁后的清洁工具应控干、擦干，滴水，摆放整齐。清洁剂与剂应有明显标志区分，用过后放回原处，及时补充。洁净区使用的工器具，按相应的清洁规程清洁后，才可放入存洁具室。存洁具室的物品应摆放整齐。存洁具室只能存放工器具，不允许存放其他物品。

　　无尘室,CLEAN-ROOM.就是一个相对密闭的空间,并控制其中的洁净度(一个重要指标就是单位体积空气中的尘埃粒子数),当然有些时候对此环境中的温湿度,压差,照度,噪音等参数也是要控制的.所以,更科学完整的叫法应该叫"受控环境controled environment".

　　活动:动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；清洗:用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。工作人员产生的污染:皮肤:人类通常每四天完成一次皮肤的脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）头发:人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。