陕西净化工程设计生产厂家

　　洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

　　设计及参数要点:因其对生产环境的恒温恒湿温控制要求很高(温度控制在22℃±1℃，相对湿度控制在43%±3%);生产大环境的空气洁净等级为千级(ISO 6级);光刻等区域的空气净化等级十级(ISO 4级);规范要求空气净化等级(ISO1-4级)的净化室采用垂直层流:上技术夹层(送风静压箱)中的空气通过FFU(风机过滤机组)输送至洁净生产层，气流通过高架地板及华夫板孔洞送至洁净下技术夹层，再经过回风夹道中的DCC(干冷盘管)回到上技术夹层，循环往复。

　　参数时通常将积分时间设置为零，以系统过调节而产生振荡。洁净室温度主要由DCC 来调节， 但同时受新风送风温湿度的影响，如果给定太高的温度，进入洁净室和循环风混合后，DCC就需要更大量的冷量进行冷却，这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度， 进入洁净室和循环风混合后， 即使DCC的开度为零，整个洁净室的温度却仍然太低，这将使得整个洁净室的温度超标。新风空调箱温湿度设定值控制

　　空容器的存放应划分区域，以避免使用的错误。使用中应检查容器的完好情况，如发现裂隙、破口等应及时更换。应制定容器的清洁规程，用后及时清洗，并清洗效果。容器使用一段时间正常损坏时，车间及时给予更换;属非正常损坏时，需说明原因，由车间做出相应的处理。物料进入生产区:车间领料员凭领料单领取物料，领料员领取的物料应有检验合格的报告书。生产区内不能存放多余的物料或与生产无关的物料，进出生产区的物料应控制在限度。为了工艺卫生污染，进出生产区的各种物料从物流通道进出，要进行清洁。