时间:2023-04-07 19:34
西藏洁净车间设备生产厂
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
无尘车间是指将一定空间范围内空气中的尘埃微粒、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予设计之房间。亦即是不论外在空气条件如何变化,其无尘车间内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间zui主要之作用在于控制产品所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的无尘环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘车间净化车间。
半导体 晶圆车间设计布要点 | CEIDI西递洁净室主要的作用就在其能控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产。在晶圆车间中,为了解决晶圆测试中良率不佳、测试结果不稳定,探针测试卡的损毁及晶圆的报废这些问题,洁净室及辅助室的设计就该是厂区建设的首要任务之一。越是大的从事晶圆生产的企业对整个工厂自动化、智能化程度要求越高,所以对半导体洁净生产车间的设计师来说,动辄几百亿投资的晶圆厂区做怎样的合理规划、系统架设以提高整个洁净工厂的空间利用率、减少机台的闲置时间、提升产品的良率是他们设计的重中之重。当然这些内容也是工厂设计定稿前需要与厂家重点探讨研究的问题。晶圆车间对生产环境的温度、湿度、洁净度、防微振等均有着严格的控制要求,且各种配套系统繁多复杂。CEIDI西递设计师常规也会采用FAB布设计。大多数FBA工厂都是四层结构,从上至下分别为:上技术夹层,洁净生产层,洁净下技术夹层和非洁净下技术夹层。
出风口的温度控制在22℃,这样,经过工作层面后温度将会再上升,在机台满载的情况下上升温度会基本稳定。 温湿度控制中的常见问题的温湿度处理过程中,为了解决问题,通常采用湿度优先的方法,冷水阀主要用来,同时也造成温度的下降,然后通过热水阀的再热,使温湿度均能达到所要求的值。这样的做法虽然可以满足设计要求,但在相当多的时候,冷热水阀使能量相互抵消,造成了能源的浪费。另外,如果进入洁净室的新风温度过高,将导致整个洁净室的热负荷加大,DCC