时间:2023-03-31 18:07
铁岭无尘车间装修生产厂家
后进入洁净室生产区域,从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器,这些机器都保持持续的运转,会产生大量的热量,这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走, 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制,主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网,把空气中的粉尘颗粒过滤掉外,还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度,以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度,进而调节回风和送风混合后的温湿度,以满足半导体工艺的温湿度需求。
无尘车间其选择地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆盖着一层乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆盖会引起尘埃,而太软的地板会造成地板弯曲甚致破裂,但并不是 C/R 的地板,都会覆盖,乙烯基。至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。而无尘车间的墙若以铝作为材料则将会昂贵,但铝却可以保护墙面不被空气所氧化,可是却易受酸性气体的侵蚀,而避免的方法是使用电镀,便铝表面增厚,不易氧化,再在铝表面上再涂上一层亮光漆即可金属氧化。
为不干扰室内的洁净气流型式,在作业区上流侧不应放置物品,回风口附近不要堆放物;送风孔板下不应堵塞和堆放物品,生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。不允许将与生产无关的和容易产尘的物品带入洁净室内。严禁在无尘净化车间内吸烟、饮食和进行非生产性活动。进入无尘净化车间前,个人物品须放入指定的柜子,去掉化妆和首饰,换上指定的洁净服、鞋。戴帽时,应将头发遮住,鞋套应将裤脚下摆紧紧裹在鞋套。
洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的空间。洁净室是特殊的房间,该房间内的空气悬浮粒子浓度、空气温度、湿度、压力等参数均需要控制。空气悬浮粒子是有特定含义的,它是尺寸范围在0.1~5μm的固体和液体粒子,它用于空气洁净度的分级。空气悬浮粒子,有的有生命(如细菌、病毒等),有的无生命(如尘粒)。有生命的微粒其实就是细菌等微生物附着在无生命的尘粒上形成的。