时间:2023-03-19 19:43
郴州洁净室检测议生产厂
万级无尘车间:万级无尘车间常用于液压设备或气压设备的组装,在某些情况下也用于食品饮料行业。此外,万级无尘车间也常用于医疗行业。
千级无尘车间:本级无尘车间主要用于生产优质光学产品、测试、装配飞机蛇螺仪、装配优质微轴承等。
在半导体无尘车间的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气(98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。
无尘厂房装修地面应用平整,无缝隙,耐磨耐腐蚀,不易集聚静电的,便于清理的整体地面。设计中可以采用现浇水磨石地面,所用石子直径应在6-15mm之间。其中分隔条采用铜条分隔,不得采用玻璃条。现多采用环氧自流坪地面,它是一种树脂类复合材料地坪。它的特点是无溶剂、、无接缝、自流找平。可以达到镜面装饰效果、无缝连接、耐油类及酸、碱、盐化学溶剂。具有防静电,发尘小,耐磨耐冲击等特点但是造价高。大多采用于要求高洁净度、外表美观、无尘、无菌的电子、医、血液制品等行业生产车间地面。环氧自流坪地面的使用寿命厚度1mm以上一般可使用6年以上。以上地坪地面垫层下应铺设防潮层,混凝土分仓线不宜通过洁净区。
出口新风湿度进行调节,将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较,由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度,其计算过程与温度设定值的计算过程类似,然后配合MAU 出口新风温度设定值,计算出MAU 的出口露点温度设定值, 由此来控制MAU 出口的湿度。实际应用中,通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节,发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点,