详细说明
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产品参数
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是否进口:否
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产地:山东省日照市
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品牌:町博士
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是否跨境货源:否
- 产品优势
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产品特点:
1.采用无油中间密封,多重密封方式,
确保转子腔内部高洁净真空环境
2.先进的数控加工中心加工,确保转子良好的几何对称性、低噪音、高寿命
3.采用特殊轴封方式,实现长期稳定运行
4.DL系列干式多级罗茨真空泵,泵腔内无油,对真空系统无污染,同时解决了油乳化、频繁更换工作液及维护保养的问题,节约使用成本
5.节能环保,不产生废油、油烟和废水,采用永磁变频电机驱动节能达30%以上
总结:高效节能、清洁无油、维护相对简单、比油泵结构更紧凑更耐粉尘、噪音低寿命长
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服务特点:
凯瑞斯科技研究院是一家集研发、制造、销售、服务为一体的专业真空设备供应商,为中国真空应用领域提供各种系列真空产品与专业的真空系统解决方案。
1.磁悬浮分子泵是为满足半导体刻蚀、离子注入、
薄膜沉积、太阳能光伏、锂电负荷集流体、真空镀膜、科学研究等领域开发的真空获得设备
2.磁轴承控制技术:为五自由度电磁轴承,利用国际先进控制理论,采用动态主动闭路磁浮控制技术,实现动态反应迅速、调节及时,保证高速运转轴系具有悬浮稳定、运转可靠等显著优点
3.电机驱动控制技术:系列磁悬浮分子泵全部采用高效高速直流电机和伺服控制系统,使得电机能量转化最大化、轴系转速自动补偿,实现启动平稳、运转可靠、动态能量自动调节功能
高真空法兰 :250ISO-F/250CF
抽速: 2100
最大压缩比 :>10⁸
最大气载量 :mbar.1.S⁻¹
氮气短时间运行/抽空:30
氮气持续运行:20
前级耐压Ar/N2:2.5
标称转速 :30600min⁻¹
最小转速:13800min⁻¹
极限真空ISO-F/CF :< 10⁻⁸/<10⁻¹⁰mbar
最高烘烤温度:80℃
启动时间min :小于5分钟
前级真空法兰 :DN40KF
冷却水接头 :G1/8
重量kg :50
振动值 :<0.01um