详细说明
<大型底座、高立柱机型成为新的标准配置。
<配有宽范围、高分辨力的Z1轴检出器。
<测量倾斜的工件时需要准备特殊的倾斜夹具, CS-3300系列的驱动部倾斜功能为标配。可以更容易地接近测量部位,还可以轻松地测量大型工件。
<检出器采用滑动机构,根据测量部件的形状,即使在不干扰驱动部的测量区域也可以进行测量。
<配有使操作性更加便捷的新型操作盒。超程旋钮能够实时控制移动速度,在准确精细定位时非常方便。新装配的工件测量程序键,通过手边操作就可以通过移动命令,测量开始指令等生成工件测量程序。
<通过高速移动(X轴 :最大80mm/s、 Z2轴 :最大30mm/s)实现高吞吐量。
<所有连接电缆均内置于测量机,以消除测量过程中的不便之处。
■规格
型号 | CS-3300S4 | CS-3300H4 | CS-3300W4 | CS-3300L4 | CS-3300S8 | CS-3300H8 | CS-3300W8 | CS-3300L8 |
测量范围 X轴Z1轴 | 100mm | 200mm |
5mm(水平位置±2.5mm) |
直线度(X轴水平姿势时) | 0.2µm / 100mm | 0.8µm / 200mm |
指示精度(20ºC) X轴Z1轴(检出器) | ±(0.8+0.01L)µm L=驱动长度(mm) | (0.8+0.015L)µm L=驱动长度(mm) |
±(1.2+|2H|/100)µm H=水平位置上测量的高度(mm) |
检出器(Z1轴)检出方式测力测针针尖 标准圆锥测针上/下 | 差动电感方式 |
0.75 mN |
针尖半径2µm、针尖角度60º、金刚石针尖(表面粗度/轮廓用) |
针尖半径25µm、针尖角度30º、蓝宝石针尖(轮廓用) |
适用(可在半空停顿) |
X轴倾斜角度 | ±45º |
Z2轴(立柱)移动范围 | 300mm | 500mm | 700mm | 300mm | 500mm | 700mm |
基座尺寸(W×D) | 600×450mm | 1000×450mm | 600×450mm | 1000×450mm |
基座材质 | 天然石材 |
* 仪器本体的一部分采用天然石材,所以表面会有些纹理的情况。