(vigorvictory)无尘室管理执行条例

　　一. 适用范围∶凡进入无尘室之人员（包括本公司之人员，厂商及参观来宾等）及资材、物料等接受本管理规则所约束规范。

　　二. 目的∶为确保无尘室之环境品质及降低本公司管理成本，确保产品品质及提升经营效益。

　　三 .内容∶

　　(一) 进出无尘室之人员应遵守事项∶

　　1、 进入无尘室之管理

　　1.1 本公司人员进入无尘室之前需在更鞋区将室外鞋放置于鞋柜内，私人物品（手提袋，书籍等）须留置室外，不得置放于无尘室内，再步行至更衣区穿戴口罩并依照个人编号换穿无尘衣帽及无尘鞋和乳胶手套，穿著专用之无尘衣物不得将个人衣物及毛发外露只可将眼睛及脸表面部分露出。

　　1.2 若厂商或来宾欲进入无尘执行作业或参观，须由本公司相关人员引导；欲进入无尘室之厂商或来宾均需依照规定在更鞋区将室外鞋放置于鞋柜内，私人物品（手提袋，书籍等）须留置室外，不得置放于无尘室内，再步行至更衣区穿戴口罩并依照个人编号换穿无尘衣帽及无尘鞋和乳胶手套，穿著专用之无尘衣物不得将个人衣物及毛发外露只可将眼睛及脸表面部分露出。

　　1.3 更换之物后需经过空气喷淋室（AIR SHOWER）吹拂后方始可进入，在空气喷淋室（AIR SHOWER）中需依照规定在气浴室中“气洗”时，双手举起并且慢慢转动身体右转三圈及左转三圈并轻拍身体衣物将落尘拍除才符合标准。

　　(vigorvictory)洁净是无尘室工作规范守则

　　1、进入洁净室人员资格

　　A.经训练合格及主管审核后之人员得进入洁净室。

　　B.进入洁净室人员需遵守洁净室之安全规定

　　C.尚未被认可之员工生、外宾及承揽商须进入洁净室者，应先报备申请领取临时证配于胸前，并应有合格人员陪同在场始得进入。

　　D.严禁转借他人之临时证或夹带未经核准人员进入洁净室。

　　E.凡违反上述规定给公司照成的经济上损失者将根据损失情况，给予行政警告、记过或开除等处罚。

　　2.进入洁净室前之注意事项:

　　A.员工、外宾及承揽商进入及离开洁净室，需于相关人员做出入洁净室登记。

　　B.任何人进入洁净室工作或参观，须依规定换穿无尘衣。

　　C.非经洁净主管许可不得将私人物品（手提袋、书籍等）及非洁净室所使用之 工具携入洁净室；维修用之手册及工具在用毕后应立即收起。

　　D.原物料进洁净室车间时，需先在外面拆箱及拭净，并置于货物风淋室携入洁净室车间。

　　E.洁净室、办公区均为禁烟区，若有吸烟，须于抽后并嗽口后，方可进入洁净室车间。

　　无尘车间洁净度控制的标准

　　关于无尘室的国际标准-ISO14644

　　1963年，美国出了个洁净室标准FED—STD一209，在这项标准中，按每立方英尺中≥O．5U．m粉尘数量的最高允许浓度，将洁净室分成若干等级，如100级、10000级、100000级。长期以来，世界上许多国家都是按这个方法分级的，中国过去的洁净室标准也是按这种方法分级的。    1999年，国际标准化组织ISO颁布了一项国际标准《IS014644—1洁净室与受控洁净环境，第一部分:空气洁净度分级》，标准中采用了新的分级。2001年，中国新颁布的洁净室设计标准中采用了ISO分级。

　　主要看0.5um的比如百级房 就是直径〉0.5um的粒子数目在100个以内；同理 十级房在10个以内；用粒子计数器在无尘车间的测量分布点进行测量9MK8\

　　\­a!l4Xl0.5um的尘粒数量不超标就是合格无尘车间。

　　一、高纯气体的重要标度

　　通常，高纯气体系指气体中含较少杂质气氛（纯度），微量水份（干燥度）污染物粒子的娄量保持在最低限度，其粒度也应是最小的（洁净度）。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净是三项重要的标度。

　　特别是近10年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，其重要程度已不亚于对纯度和干燥度有严格要求的用气工艺，无一不对其中的粒子提出限制。

　　二、控制粒子污染的重要性

　　对于控制粒子污染的重要性，在集成电路生产、实验部门已经有所认识，同时，实践已向人们表明，气体的粒子可造成微日子产品的短路或断路，改变半导体材料的电性能，也可以破坏其晶格结构，影响印刷板的复制等等。这些破坏性因素中的任何一个，无可导致集成电路失效的严重后果。通常，粒子的粒径小到1微米的十分之几，便可造成断路，而更小的凿子，便函可使线路工作降级。所以，防止粒子污染，在微电子技术中是十分严格的。迄今，在纯净气体应用技术中，对于大流量高纯气体输送系统，美国已有输送含0。1µm以上粒子，每立方英尺气体中不超过10个的能力；它还为几个系统输送含有0.02µm以上粒子的气体，其粒子数每立方英尺不超过10个。

　　三、洁净度控制的标准或规定

　　由于高纯度体的使用地点、性质、关况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。

　　对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。

　　本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次。

　　超高纯气体

　　气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。

　　高纯气体

　　气体中杂质总含量控制在5%ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内.

　　洁净气体

　　气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。

　　上述规定，都未涉及洁净度。我们知道，集成电路的生科，有相当一部分 是在洁净，是防止法埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致。为此，在下列法规和资料中，都作了相应的明确规定。

　　1．《空气洁净技术措施》

　　这是1979年3月由国家建委科教局批准实施的，其中对工业气体的使用作了这样的规定:“洁净室内使用权用的各种气体，如氮气、氧气、氢气、氩气和压缩空气等，其含尘浓度不应高于该洁净室所规定的含水量法浓度”。在该技术措施中，把洁净室的含尘浓度按每升环境空气中所含粒子数量，分为5个级别，即3级、30级、300级、3000级和30000级。各级分别是每升空气中含粒径≥0.5µm的尘粒平均数不超过3粒、30粒、300粒、3000粒和30000粒。

　　平均值是指工作人员在正常操作时，在工作区平面连续一段时间内，测得的含尘浓度的算术平均值。

　　该技术措施是我国正式公布的第1个洁净技术方面的有关规定，它由于与实践中通常采用的“美国联邦标准209”在级别的表示方法上完全不同，不仅使人们不习惯，而且由于其内容落后于高速发展的微电子生产的技术要求，所以，它未被真正实施和推广。

　　2．GBJ73—84《洁净厂房设计规范》

　　这是1984年国家计划委员会批准实行的，其中对空气洁净度等级的划分作了如表1所列的具体规定。

　　表1  空气洁净度等级

　　该规范中的洁净度等级表示方法与美国联邦标准209相似，但目前还不能满足某些微电子生产厂及实验厂的技术要求。随着集成度的提高，仅以0.5µm粒径作为划分洁净度等到维的标准是远远不够的了。例如，某微电子生产厂就提出了表2所列的参数要求。

　　表2中所列要求是按美国联邦标准209提出来的。

　　3．《美国联邦标准209》

　　1963年10月美国政府批准实施了适用于洁净室、洁净工作站的《联邦标准209》，随后，经过5次修订，到1988年7月颁布了《美国联邦标准209D》。

　　可见，为适应电子技术迅速发民的要求需要不断高速和修订有关标准。我国目前的规范内容基本上相当于《美国联邦标准209A》（1966年8月）的水平。

　　4．《美国联邦标准209D》

　　在该标准中，悬浮粒子洁净度级别按表3和图2确定。

　　该标准与《美国联邦标准209》相比，圈套的不同有以下几点。

　　（1）增加了 1级和10级洁净等级；

　　（2）在1级和10级内分别列有0.1、0.2、0.3和0.5µm挡次，同时，在多用的100级内，同0.5µm粒子一样，也列入了0.2、0.3µm两个挡次。

　　（3）可准确地确定其它级别，如50级等；

　　（4）增加了两个表（表3、4）  

　　根据这样的标准，对照表3，不难看出，对于0.2—1级，即粒径≥0.2µm的粒子，在每立方英尺中不得超过7.5个；对于0.5—1级，即粒径≥0.5µm的粒子,在每立方英尺中不得超过1个.

　　在《美车联邦标准209D》中，除表3之外，还对粒子测定时的取样气体数作了规定，见表。

　　表4 测定粒子尺寸和确定空气洁净等级时每次最小取样容积（立方英尺）

　　在同一环境况关下，取亲容积不同时，所含水量粒子数也不同，因此，对取样的最小容积作了限制性规定。

　　由于粒子计数器是在大气压下工作的，所以，在我们的代表气技术中，对粒子的测定取样，也要降到大气压下来进行测定。

　　目前，各国在提供高纯气体时，对于粒子的含量，基本上按《美国联邦标准209D》要求进行，我国也是如此。我国现在的技术措施和规范尚不能满足使用要求，我们希望有关部门对原有措施、规范尽快修订，对高纯气体的应用技术也应建立相应的技术措施、规定和标准。