JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜

　　广受好评的JSM-7610F的光学系统经过改进，实现了分辨率15kV

　　0.8nm、1kV 1.0nm的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power

　　Optics照明系统，提供稳定的高空间分辨率观察和分析。此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。

　　广受好评的JSM-7610F的光学系统经过改进，实现了分辨率（15kV

　　0.8nm、1kV 1.0nm）的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power

　　Optics照明系统，能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。

　　此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。主要特点如下:

　　◇半浸没式物镜

　　半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得超高分辨率。

　　◇High Power Optics

　　High Power Optics 是独特的电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。

　　浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪（FEG）的探针电流，最佳光阑角控制镜（ALC）在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统，从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物镜光阑而不需要改换。

　　浸没式肖特基场发射电子枪銃

　　浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合，可以有效地收集从电子枪内发射的电子。

　　最佳光阑角控制镜（ACL）

　　最佳光阑角控制镜（ACL）配置在物镜的上方，在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此，即使照射样品的探针电流很大，与传统方式相比，也能获得很小的电子束斑。

　　即使探针电流很大，束斑直径也很小

　　长时间分析时稳定度也很高

　　◇柔和电子束（GB:GENTLEBEAMTM）模式

　　GB 模式的效果

　　GB 模式在低电压下提高分辨率

　　左图一般模式，右图GB模式

　　增强了的低加速电压下的分辨率

　　◇r-过滤器

　　◇LABE检测器（选配件）

　　利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像

　　◇扩展性

　　能谱仪（EDS）

　　波谱仪（WDS）

　　阴极荧光系统（CL）