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　　2i光度计校准包括:

　　调整光学焦点,

　　泄漏检测,

　　检测流量,

　　检测电子线路系统,

　　更换内置 HEPA过滤器

　　清洁真空泵,

　　清洁采样头,

　　更换垫片 …等等

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