详细说明
产品描述:
SJ系列玻璃基板搬运机器人用于搬运第5代到第8代平板显示器用大型玻璃基板的机器人。通过采用屈伸型结构,发挥高洁净性能,最适用于需要控制颗粒的无尘车间内的作业。
产品特点:
应用于第7代~第9代基板的系列产品: 适用于包括第7代的SJ80C,以及第8,9代的SJ120C,级别最高的旋转速度和前后轴速度: 在所有尺寸中均缩短了周期,上下轴采用独有的连杆结构: 能够抑制弯曲和振动的高刚度结构,无带式结构,确保高可靠性和安全性,活动部分的布线全部内置于手臂内: 防止发生微米级尘埃,并使外观保持整洁。
产品参数:
系列 | SJ80C | SSJ120CJ120C |
机器人型号 | SJ80C-18D-01 | SJ80C-24D-01 | SJ120C-28D-01 | SJ120C-28S-01 |
清洁度 | 10级(0.3μm)*1 | 10级(0.3μm)*2 |
自由度 | 4 | 4 | 3 |
驱动方式 | AC伺服方式 |
最大工作范围 | X1 | 前后1 | 3,670mm | 4,480mm |
X2 | 前后2 | 3,670mm | 4,480mm |
θ | 转动 | (+145°~-195°) | (+195°~-145°) |
Z | 上 下 | 1,800mm | 2,400mm | 2,800mm |
最大速度 | X1 | 前后1 | 3,000mm/sec | 3,600mm/sec |
X2 | 前后2 | 3,000mm/sec | 3,600mm/sec | - |
θ | 转动 | 3.14rad/sec (180°/sec) |
Z | 上 下 | 1,100mm/sec | 1,450mm/sec | 1,050mm/sec |
搬运重量 | 每个臂80kg(合计135kg) | 最大90kg | 最大120kg |
位置反复精度 | ±0.3mm |
周围温度 | 0~35°C |
设置条件 | 落地式 |
主机重量 | 1,175kg | 1,200kg | 1,880kg | 1,680kg |