净化车间FFU具有的特点:

　　第一，灵活性:因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制，在一个偌大的无尘厂房里可根据要求，分区控制，而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应的调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。

　　第二，可再利用性，从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。

　　第三，负压通风，这是FFU的独特特点，由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于无尘厂房负压，这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区内，使得密封变得很简单而且安全。

　　第四，缩短建设周期，使用FFU省掉了风箱的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。

　　第五，减少运行成本，虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但在它后期运行中，突出的表现出节能，免维护等特点，用大循环减少40%的运行成本。