详细说明
NVP81高频响压力传感器 利用硅优良的弹性力学特性，采用微机械加工技术、齐平封装结构、集成硅膜片敏感元件，其有效尺寸小，动态频率响应极高（最高可达到1MHz），可获得低至零频、高至接近固有频率的宽频带响应，而且具有低至微秒级的上升时间，其综合性能优于压电动态压力传感器。该系列产品适用于军事工程、化爆试验、石油勘采与测井、材料、力学、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中，是动态压力波形测量的首选。其性能指标达到国际先进水平，可完全替代国外同类产品。可选笔形冲击波型压力传感器。
基于SOI的MEMS压力敏感器件
齐平封装，良好的动态特性
压力测量范围宽
长期稳定性很好
| 动态频响 | 最高1MHz |
| 测量介质 | 与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 |
| 量 程 | 0～10KPa……60MPa |
| 非线性 | 0.05%FS | 0.15%FS | 0.3%FS | 0.5%FS |
| 迟滞、重复性 | 0.03%FS | 0.1%FS | 0.2%FS | 0.3%FS |
| 精 度 | 0.1%FS | 0.2%FS | 0.5%FS（典型） | 1%FS |
| 过载压力 | ≥200%FS |
| 长期稳定性 | 优于0.2%FS/年 |
| 电气特性 |
| 满量程输出 | 80mV±20mV |
| 零点輸出 | ≤±2mV |
| 供 电: | 1.5mA，5mA或9V |
| 电气接口 | 自带锁紧结构，或其它 |
| 绝缘电阻 | 100MΩ(50VDC) |
| 环境特性 |
| 零点温度系数 | 0.03%FS/℃(典型) |
| 灵敏度温度系数 | 0.03%FS/℃（典型） |
| 补偿温度范围 | 0～70℃ | -25～50℃ | 25～125℃ | 25～175℃ |
| 存储温度范围: | -40℃～125℃ |
| 相对湿度 | 0%～85% RH |
| 结构性能 |
| 压力接口 | M20×1.5，M12×1，或其它 |
| 壳体及接口材料 | 1Cr18Ni9TI |
| 重量 | 约150g |