详细说明
X-LDM-AE仅需要标准的48 V电源。它们可连接到计算机的RS-232接口或USB接口，并且可以与任何其他Zaber产品进行多轴连接。并共享电源，使多个X系列产品可以共享一个电源。与Zaber的所有产品一样，X-LDM-AE系列设计为“即插即用”，易于设置和操作。X-LDM-AE设备还包括一个数字输入和两个数字输出，用于连接外部系统。X-LDM-AE方便使用于各种量测和真空实验，PL和EL实验还有自动化设备等应用上。
X-LDM-AE高精度电控平移台特点
高重复性80nm和精度1μm，Min增量移动25 nm
1 nm分辨率并有线性编码器
速度最快可达1.2M/秒，加速度高达3.5g
60,110,210 mm三种行程选择
内置控制器; 并可与其他Zaber平台多轴串接
非接触式无铁芯直线电机，具有超精密，高动态和零间隙
一个数字输入和两个数字输出
可组合成双轴XY
重复性Repeatability:
在稳定条件下，指示设备移动到目标位置反复100次（每次从相同方向接近）时，实际位置的的偏差。
精度（单向）Accuracy (unidirectional):
当从相同方向，在任何两个位置之间移动时可能出现的误差。
增量移动Minimum Incremental Move:
定位轴增量移动的步长（Min机械增量）。
X-LDM-AE高精度电控平移台规格参数:
| X-LDM-AE规格 | 参数 |
| Built-in Controller | Yes |
| 精度（单向） | 1µm |
| 重复性 | <0.08µm |
| Min增量移动 | 25nm |
| Max速度 | 1200mm/s |
| Min速度 | 0.000001mm/s |
| Speed Resolution | 0.000001mm/s |
| Encoder Count Size | 1nm |
| 编码器类型 | Linear analog encoder |
| 峰值推力 | 60N |
| 峰值连续推力 | 35N |
| 通讯接口类型 | RS-232 |
| 通讯协议 | Zaber ASCII (Default) |
| Maximum Centered Load | 120N |
| Maximum Cantilever Load | 1200N⋅cm |
| Guide Type | Crossed-Roller Bearing |
| Maximum Current Draw | 3000mA |
| 电源大小 | 48VDC |
| 电源插头 | 2-pin screw terminal |
| 马达电机类型 | Moving Magnet Track Linear Motor |
| 马达电机额定电流 | 2400mA/phase |
| 电感 | 1.24mH/phase |
| 数据线 | Locking 4-pin M8 |
| Limit or Home Sensing | Optical Index Mark |
| 手动控制 | 带按钮的分度旋钮 |
| Axes of Motion | 1 |
| LED指示灯 | Yes |
| 安装接口 | M6 threaded holes |
| 工作温度范围 | 10 to 40°C |
| 真空兼容 | No |
| RoHS Compliant | Yes |
| CE Compliant | Yes |
| Digital Input | 1 |
| Digital Output | 2 |
X-LDM-AE高精度线性平移台参数对比:
| 型号 | 行程 | Max加速度 | 垂直抖动偏差 | 水平抖动偏差 |
| X-LDM060C-AE54 | 60mm (2.362") | 34.3m/s2(3.50g) | <4µm (<0.000157") | <3µm (<0.000118") |
| X-LDM110C-AE54 | 110mm (4.331") | 24.5m/s2(2.50g) | <4µm (<0.000157") | <3µm (<0.000118") |
| X-LDM210C-AE54 | 210mm (8.268") | 14.7m/s2(1.50g) | <8µm (<0.000315") | <5µm (<0.000197") |
| X-LDM060C-AE54D12 | 60mm (2.362") | 34.3m/s2(3.50g) | <4µm (<0.000157") | <3µm (<0.000118") |
| X-LDM110C-AE54D12 | 110mm (4.331") | 24.5m/s2(2.50g) | <4µm (<0.000157") | <3µm (<0.000118") |
| X-LDM210C-AE54D12 | 210mm (8.268") | 14.7m/s2(1.50g) | <8µm (<0.000315") | <5µm (<0.000197") |
| 型号 | Pitch | Roll | Yaw | Moving Mass |
| X-LDM060C-AE54 | 0.003° (0.052mrad) | 0.002° (0.035mrad) | 0.002° (0.035mrad) | 1.74kg (3.828lbs) |
| X-LDM110C-AE54 | 0.005° (0.087mrad) | 0.005° (0.087mrad) | 0.002° (0.035mrad) | 2.29kg (5.038lbs) |
| X-LDM210C-AE54 | 0.01° (0.174mrad) | 0.005° (0.087mrad) | 0.005° (0.087mrad) | 3.17kg (6.974lbs) |
| X-LDM060C-AE54D12 | 0.003° (0.052mrad) | 0.002° (0.035mrad) | 0.002° (0.035mrad) | 1.74kg (3.828lbs) |
| X-LDM110C-AE54D12 | 0.005° (0.087mrad) | 0.005° (0.087mrad) | 0.002° (0.035mrad) | 2.29kg (5.038lbs) |
| X-LDM210C-AE54D12 | 0.01° (0.174mrad) | 0.005° (0.087mrad) | 0.005° (0.087mrad) | 3.17kg (6.974lbs) |