详细说明
特性 和优点
• 热稳定性
• 抗氧化性
• 化学惰性
组成
• 有机硅(道康宁 ® 702 扩散泵油)
• 单组分有机硅材料(道康宁 ®704 扩散泵油和道康宁 ® 705扩散泵油)
用于高真空及高速抽气的扩散泵油
应用
• 道康宁 702 扩散泵油:高速抽离生产作业中产生的大量气体或蒸气
• 道康宁 704 扩散泵油:可产生真空度为 10-5 到 10-8 托(无捕集器型)及 10-10 到 10-11 托(含捕集器型)
• 道康宁 705 扩散泵油:可产生超高、超净真空
描述
道康宁 702、704 和 705 扩散泵油主要用于满足抽离生产作业中大量气体或蒸气的高速抽气及高真空度要求。
道康宁 702 扩散泵油是一种用于高速抽离大量气体的通用型液体。它可以用于产生的真空度为 10-5 到 10-7托。除此之外,它还被用于蒸气喷射泵中以产生 10-4 到 10-5 托的真空度。
道康宁 704 扩散泵油是一种单组分液体,可产生高真空压强范围为 10-6到 10-8 托(无捕集器)和 10-10 到10-11(含捕集器)。在复杂、严苛的条件下,它可以表现出良好的性能,即使在工作温度下暴露于空气中,也能达到快速抽空。
道康宁 705 扩散泵油是一种由无色到淡黄色的单组分液体,可用于产生10-9 到 10-10 托(无捕集器)和 10-11 托(含捕集器)的超高真空。
道康宁 705 扩散泵油的蒸气压和回流率相当低,因此,在一些超高、超净真空应用中,无需捕集和冷却。在所有有机硅扩散泵油中,它的苯基含量最高,抗辐射能力最强。
优点
道康宁扩散泵油具备如下优点:
• 较短的调节运行时间:单组分硅油比用多组分的有机油达到最大能力需要的时间短得多。
• 快速抽空:与那些使用有机油的扩散泵相比,使用硅油的扩散泵可在前级压强高出 20%至 300%的条件下运行。若想在扩散泵工作范围的高压端获得较高的气体通量,热量输入可增加20%~30%。
• 极小的回流:道康宁单组分硅油的蒸气压很低,因此,许多捕集器或现存捕集器的致冷是不需要的。
• 较长的使用寿命:硅油的热稳定性和化学稳定性可以确保长久的运行而不被损耗和污染。
• 更洁净的系统因而维修需求较少:在挡板温度下,硅油的低蒸气压导致低迁移率。喷嘴和锅炉表面保持清洁;在运行条件下,硅油几乎不会产生任何分解现象。
• 更快的循环,停机时间的降低,更换油的次数减少:硅油在操作温度下接触到空气后的恢复速率是有机油的数倍。由于道康宁扩散泵油具有出色的抗氧化和抗水解性能,无需冷却扩散泵,即可破除真空,因此,极大缩短了循环时间
应用范围
道康宁扩散泵油可应用于各种领域,包括:
电 子
• 在电视显像管和阴极射线管内产生真空
• 在功率管和微波管内产生真空
• 通过在设备及微电路中进行溅射镀膜或蒸镀,达到薄膜的气相沉积
冶金
• 电子束应用;高真空熔炉
• 对难熔金属进行熔化、除气以及烧结;厚膜沉积
真空镀膜
• 对电视显像管进行铝化处理
• 光学镀膜
• 用于珍奇物品和汽车零部件的
装饰镀膜
• 对建筑玻璃、塑料片材和金属薄板进行镀膜研究
• 用于薄膜、表面发射系数、润滑以及金属疲劳研究中的超高真空和超净真空