本文主要介绍了高效过滤器检漏的方法和原理，分为钠焰法，计数扫描法，油雾法，粒子计数器法以及重点介绍高效过滤器PAO检漏方法和检测PAO气溶胶浓度的仪器，并介绍高效过滤器的使用寿命与洁净室综合评定测试。

　　关键词

　　高效过滤器   检漏   检测   方法   PAO检漏   DOP  钠焰法  计数扫描法  油雾法  尘埃粒子计数器    气溶胶发生器   光度计 过滤器   生物安全柜  净化工作台  超净台   洁净采样车  浮游细菌采样器   采样器   计数器  粉尘仪  洁净度   风淋室   空气自净器   传递窗  过滤器单元   温湿度   压差   气流流形检测    烟雾发生   称量台  称量罩   过滤单元 送风口 烘箱  培养箱   干燥箱   净化工程   仪器仪表  分析仪器  实验室  通风柜  生物柜 

　　PAO气溶胶发生器可分为热发生和冷发生两种，热发生器是利用蒸发冷凝的原理，被雾化的气溶胶粒子用加热器蒸发，并在特定条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3um左右的雾状DOP进入风道，粒径分布在0.1～0.3um。

　　冷发生器是指利用压缩空气在液体中鼓气泡，经laskin喷管飞溅产生物态的多分散相DOP气溶胶，最大分布粒径在0.65um左右。在对过滤器进行扫描检漏时，经常使用冷DOP。

　　热发烟的粒径是0.3μm、冷发烟的粒径是0.55-0.65μm

　　热发烟的浓度很大，持续稳定，适合于空调机组下面的高效过滤器检漏.

　　冷发烟量小稳定，适合于单个高效过滤器的性能测试,FFU检漏和厂家做高效性能测试的时候比较实用.

　　热发烟:TDA-5C气溶胶在仪器里面加热到380-390℃，在压缩空气的压力下吹出来 需要外置氮气瓶（能调节压力）

　　冷发烟:PAO气溶胶在冷凝震荡发生粒子 TDA-4B压缩气体:3-9cfm（85-255L/min） 20psi  TDA-6C压缩空气:内置空气压缩机

　　PAO气溶胶发生器热发生和冷发生测试步骤如下:

　　1.2.1 TDA－4B，冷发生气溶胶测试方法

　　①在被测设施的外侧准备好压缩空气气源，并将气溶胶发生器ATI TDA-4B连接于被高效过滤器的上游吸入口。压缩空气输入TDA-4B的压力保持大于4 kg/cm3的状态，正常开启风机，使得与送风混匀后的气溶胶进入被测设施内的高效过滤器上游并稳定一段时间。确保气溶胶（PAO）均匀分布在该高效过滤器的上游。

　　②打开TDA－2i气溶胶（PAO）光度计，直到获得稳定的气溶胶（PAO）上游浓度值时建立100％上游浓度基准；气溶胶（PAO）上游浓度不小于20 μg/L。

　　③使用TDA－2i气溶胶（PAO）光度计在被测设施内高效过滤器下游测试泄漏浓度，测试点分布于被测设施内高效过滤器的所有断面以及密封材料的连接处，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封处进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54 cm），扫描速度不超过5 cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。读取测试数据。

　　④测试值取其最大值作为最终泄漏浓度（％），即高效过滤器完整性测试结果。

　　1.2.2 TDA－5C，热发生气溶胶测试方法 

　　①在被测设施的外侧准备好氮气钢瓶，并将气溶胶发生器ATI TDA-5C连接于被测高效过滤器的上游吸入口。保证氮气输入TDA-5C的压力保持大于4 kg/cm3的状态，加热气溶胶（PAO）到385～400℃并达到稳定，正常开启风机，使得与送风混匀后的气溶胶进入被测设施内的高效过滤器上游并稳定一段时间。确保气溶胶（PAO）均匀分布在该高效过滤器的上游。

　　②打开TDA－2i气溶胶（PAO）光度计，以下步骤与上述TDA－4B冷发生气溶胶测试方法一致。

　　1.3 测试仪器

　　TDA-4B 气溶胶发生器（冷发生气溶胶）:TDA-6D/4B 气溶胶发生器（冷发生气溶胶）TDA-5C 气溶胶发生器（热发生气溶胶）；TDA-2i气溶胶光度计:气溶胶发生器专用油PAO-4；QDF-6数字式风速仪。

　　2 测试结果

　　2.1高效过滤器（HEPA）气溶胶PAO浓度约为20 μg/L，即高效过滤器上游亚微颗粒浓度在200万～300万时的测试结果