为了保证洁净厂房内的尘粒控制在洁净室 （厂房）洁净等级所要求的尘粒数以内，一般在净 化空调系统中使用三级或四级空气过滤器，来挡截 进入洁净室（厂房）气流中的尘埃粒子。

　　净化空调系统中所使用的空气过滤器,按其空 气过滤的效率分为四种，即初效过滤器、中效不定 期滤器、亚高效过滤器和高效过滤器（有些房间的 洁净度记于100级，如10级洁净室，其净化空调房间 还要使用超高效过滤器）。

　　净化空调系统中，所使用的空气过滤器是在系 统设计时,按照各级过滤器的额定风量，空气阻力 和过滤效率进行组合选型的。同时初效过滤器和中 效过滤是根据过滤的风量和过滤的滤料的滤速来 确定过滤器的尺寸。初效空气过滤器空气通过滤料 的滤速为0.4~1.2m/s,中效空气过滤器空气通过滤 料的滤速为0.2~0.4m/s,高效空气过滤器空气通过 滤料的滤速为0.01 ~ 0.03m/s。

　　在空气过滤器的组合方面，以初、中、高三级空 气过滤器相组合的方式，一般用于10万级到100万级 的洁净室，对于1万级到100级的洁净室，其净化空 调系统也有使用初、中、中、高四级空气过滤器的组 合方式，或使用初、中、亚高效、高效四级过滤器的 组合方式。在四级空气过滤器的组合中，增加的第 三级中效或亚高效空气过滤器的目的是为了提高净 化空调系统的送风洁净度，延长末端空气过滤器的 使用寿命,减少其更换的次数。

　　3.2空气洁净测定设备

　　（1）测压计:主要用于各级净化车间之间和洁 净区与非洁净区之间的微压差测定，也用于利用 压差法测量风速，常用的测压仪表主要分为液体 压力计、弹簧（膜片）压力计和电子压力计。液体压 力计是基于液体静力学原理制成的，可测量表压 及真空度（即正、负压）也可以测量两点的压力差， 所测压力差由压力计内液体的静压差来平衡。常 用的工作液体有酒精、水、水银等，在洁净室测量 中主要是酒精或水。液体压力计具有使用容易、价 格低廉、准确度较高，制造使用方便，指示明确等 优点；缺点是测压范围受限制，两柱压力差不能很 高，且玻璃管容易碎。弹簧压力计是根据弹性元件 在所测压力作用下发生变形，变形量与所测压力成 函数关系这一原理制成的。弹簧压力计的测压范 围甚广，其优点是构造简单、便于携带、装置容易、 价格低廉。常用的主要有弹簧管压力计、膜片压力 计和膜盒压力计三种。电子压力计是利用压电原理 或高压下电阻变化等电学方法来测定压力的压力 计,适用于测量变化极快、数值很高、或是近乎绝对 真空时的压力。电学压力计必需借助变送器将压力 信号变为电信号，然后用电气仪表来测量和显示， 主要在洁净室自控系统中应用。