指无尘车间结构完成后的最后施工阶段。在此阶段，主要进行高效过滤器、风淋室等对洁净等级有极高要求的设备安装，工艺管线，以及一些测试工作。在超级洁净施工阶段，进入洁净施工区前，必须穿着无尘车间施工专用的鞋，或套上干净的鞋套。经常用真空扫尘器或便携式带高效过滤器的吸尘器进行打扫。每天清点一遍材料。

　　在无尘车间施工区内禁止吸烟、食物或喝水，并在明显的位置警示所有进出人员。必须每天清除用剩的材料。工地上应有足够的垃圾箱。人员和材料的进出口须有管理人员控制。每周进行一次施工队伍的清洁工作。禁止任何有污染的工作。施工材料必须清洁后方可进入施工区。内部施工用材料将单独包装进入现场。

　　进入超洁净区域，材料必须经如下处理方可进场使用。在场外指定地方拆箱，入口处必须保持正压，并且是密封的，原理同气闸一样。外包装需及时仍进垃圾箱。材料须在指定入口处擦净后使用。过滤器及吊顶材料须用塑料袋保存，直到安装前再拆开作最终检测和清洁。所有材料和工具须用水清洁。新风机连续运转一定保证室内正压。除在无尘车间内所有施工人员需穿着干净的工作服。在无尘车间内穿着洁净服。现场不可使用木制和褶皱的纸板。