晶圆减薄 AMSEMI贴膜机ATW-12

名称:晶圆减薄 AMSEMI贴膜机ATW-12

供应商:上海衡鹏企业发展有限公司

价格:面议

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产品编号:170032920

更新时间:2021-06-09

发布者IP:118.242.40.117

详细说明

  【晶圆减薄】AMSEMI贴膜机ATW-12

  AMSEMI晶圆减薄前贴膜机ATW-12规格参数:

  晶圆尺寸 8”& 12”晶圆;

  常规产品厚度 200~750微米;

  Bump产品厚度 晶圆 200~400微米;

  凸块 50~200微米;

  晶圆翘曲 ≤5mm;

  晶圆种类 硅, 砷化镓或其它;

  单平边,V型缺口;

  胶膜种类 蓝膜或者UV膜;

  宽度:240~340毫米;

  长度:100米;

  厚度:0.05~0.2毫米;

  贴膜原理 防静电滚轮贴膜;

  滚轮温度 室温~80摄氏度;

  贴膜动作 自动拉膜和贴膜;

  晶圆台盘 二合一特氟隆防静电涂层接触式台盘,或硅胶台盘台盘温度:室温~100℃;

  装卸方式 晶圆手动放置与取出;

  防静电控制 防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器;

  切割系统 独特的手动可调整环形切刀,适用于不同的晶圆外形,刀头带独立加热机构,无任何飞边并省去修边;

  独特的手动直切刀,为世界最省膜的设计;切割刀温度:最高达150℃;

  晶圆定位 通用标线/弹簧销钉;

  控制单元 基于PLC控制,并带5.7”触摸屏;

  安全防护 配置紧急停机按钮;

  电源电压 相交流电220V,10A;

  压缩空气 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺;

  机器外壳 白色喷塑金属外壳;

  体积 680毫米(宽)*900毫米(深)*600毫米(高);

  净重 85公斤;

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