撕膜机ADW-08 PLUS全自动晶圆撕膜

名称:撕膜机ADW-08 PLUS全自动晶圆撕膜

供应商:上海衡鹏企业发展有限公司

价格:面议

最小起订量:1/台

地址:上海市徐汇区田州路159号莲花大厦3楼B座

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产品编号:170032779

更新时间:2020-08-17

发布者IP:118.242.40.117

详细说明

  (撕膜机)ADW-08 PLUS全自动晶圆撕膜,手动贴膜

  ADW-08 PLUS半自动晶圆减薄后撕膜机特点:

  ·独有设计的机械手撕膜技术,无耗材撕膜;

  ·全自动撕膜和收集废膜;

  ·手动放置和取出晶圆,或带承载环贴膜的晶圆;

  ·8”陶瓷晶圆台盘可以匹配8”晶圆/承载环;

  ·12”陶瓷晶圆台盘可以匹配12”晶圆/承载环;

  ·基于PLC控制,带5.7”触摸屏;

  ·去离子风扇和ESD保护;

  ·UV膜&非UV膜能力;

  ·配置光帘保护功能,和紧急停止按钮;

  ·三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;

  AMSEMI半自动晶圆减薄后撕膜机ADW-08 PLUS规格:

  晶圆直径 8”& 12”晶圆;

  晶圆厚度 100~750微米; 撕膜原理

  晶圆种类 硅, 砷化镓或其它材料;

  单平边,双平边,V型缺口;

  BG膜种类 蓝膜,或UV膜;

  撕膜角度 < 45° → 0°;

  撕膜台盘温度 室温~ 150℃可控;

  撕膜方式 专利的机械手撕膜技术,无需任何耗材;

  装卸方式 手动放置与取出晶圆或贴膜晶圆/承载环;

  防静电控制 去离子风扇;

  控制单元 基于PLC 控制,带5.7”触摸屏;

  安全保护 配置紧急停机按钮;

  电源电压 单相交流电220V,16A;

  压缩空气 60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺;

  机器外壳 白色喷塑金属外壳;

  体积 1350毫米(宽)*880毫米(深)*1560毫米(高);

  净重 400公斤;

  ADW-08 plus半自动晶圆减薄后撕膜机性能

  撕膜质量 无裂纹、无破碎、无划伤;

  每小时产能 ≥ 60片晶圆;

  MTBF >168小时;

  MTTR <1小时;

  停机时间 <3%

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