详细说明
ATW300全自动晶圆贴膜机_AMSEMI
AMSEMI ATW300全自动晶圆贴膜机特点:
·先进的ESD滚柱滚边
·全自动胶带供应和安装
·由多链路SCARA晶圆搬运机器人构成
·晶圆位置智能映射
·晶圆对准用光纤非接触光束传感器
·ESD特氟隆电镀卡盘
·晶片盒&FOUP/FOSB加载&卸载
·自动晶片边缘切断
·基于17英寸触摸面板LCD的标准工业PC控制
·完整的不锈钢外壳和铝型材框架和门
·ESD保护用内置电源
·UV&UV胶带功能
·针对焊接过程的低张力控制技术
·双重加载端口标准的设定
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