(半导体工业空气过滤器)粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路，粉尘直接影响产品的成品率。当今，半导体工业（芯片厂）对生产环境空气洁净程度高挑剔，对空气过滤器的要求也最苛刻。 衡量芯片集成度的指标之一是“线宽”，即电路上导线的宽度。在以微米计算线宽的年代，人们说制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的1/10，随着线宽不断变小，1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年，普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13mm，此时任何粉尘都可能损害电路，粒径与线宽的传统比较已经过时了。 芯片厂传统的通风形式是“大循环”，车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的过滤装置，即FFU。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度，只是在运行管理和能耗上有所差异。 不论是普通高效过滤器还是FFU，出厂前都要经过逐台扫描测试。国内目前没有扫描测试方法标准，能挤进芯片厂的过滤器厂家是按欧美标准对过滤器进行扫描测试的。芯片厂的人认为，过滤器传统检验方法用的试验粉尘本身就是污染源，所以芯片厂不买钠焰法和DOP法的帐。 空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘的颗粒比较大，普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸，可沿海地区经济发达，芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区，在过滤器上多花点钱就是了。 20世纪90年代初，国外曾对高效过滤器玻纤滤纸的含硼问题争吵了一阵，随后，过滤器的微量挥发元素成了芯片厂关注的事情。近几年，国外出现了聚四氟乙烯纤维高效过滤材料，这种材料没有挥发物，但它是带静电的“驻极体”，少了个隐患，多了个麻烦，过滤后的空气要进行电中和以消除空气中的离子。目前这种材料的价格偏高，大部分过滤器仍使用玻璃纤维滤纸。过滤器上可能的微量挥发元素主要来源于粘结剂和清洗剂，为芯片厂供货的过滤器厂商要在这上面下些功夫。 当今的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零，你想要多干净都能达到。当芯片上的线宽小到0.5mm时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，在线宽小于0.5mm的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。化学过滤器的原理和制造工艺并不复杂，它就是活性炭过滤器，但传统的活性炭过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车，芯片厂的化学过滤器大都是空调过滤器的制造厂家提供的。 化学污染物的来源可能是:室外空气、工艺本身、人、装修材料。多数情况下，设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度，因此，为他们提供的化学过滤器至少应具有两个特点:广谱吸附性能、足够多的活性炭材料。所谓广谱吸附就是对什么都能多少吸附些，能有这种功能的就是最普通、最便宜的颗粒活性炭。如果能确定污染物种类，就可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理，以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务，以帮助用户确定化学过滤器的使用情况，这就要求供应商中有搞化学过滤的专家，并与名气大的化学实验室有密切的关系。遗憾的是，国内过滤器厂商没有几家在那上面下功夫，所以国内芯片厂目前使用的化学过滤器多数是进口产品。 半导体工业并非人们普遍认为的“无烟工业”，它也有环境问题。那里经常采用最新的工艺和材料，有些化学物品在其安全性尚未得到评估前就已经大量使用了，稍不小心就会造成严重的化学污染，既有地下水污染，也有空气污染，硅谷就曾为此付出过惊人的代价。为了保险，有些企业在排风系统中也使用化学过滤器。 中国正处在新一轮芯片厂建设的狂热中，为此，今后几年国内需要数亿元的高效过滤器和化学过滤器，如果国内过滤器商家像以往那样只热衷于抄袭、猜疑、各顾各地瞎忙活，不在技术上进取、不相互交流，芯片厂这个难得的市场将属于外来者。无尘车间有隔板高效过滤器无尘车间有隔板高效过滤器无尘车间有隔板高效过滤器