详细说明
上海宝利苏迪—法国POLYSOUDE
——生产半导体高纯气体管路自动焊机
关键词:高纯气体管道焊机,高纯气体管路焊机,高纯气体管路焊接机,高纯电子特气管道焊接,高纯管道自动焊机,高纯管路焊机,特气管路焊机,特气管道焊接,半导体气体管道自动焊机,电子厂特气工艺管道焊接,半导体芯片制造管道自动焊机,集成电路管道安装自动焊机,半导体工程用管道自动焊机
半导体生产中需要应用到各种各样的高纯气体,以芯片制造为例,他们在生产芯片的薄膜,刻蚀,掺杂,气相沉积,和扩散过程中,都少不了电子气体。它的纯度和洁净度直接影响到所生产元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着产品的精确性和准确性,而输送这些气体的管路以及管路连接质量就变得至关重要。
基本要求
管道内部流体输送过程中,流体的纯净程度不会有任何影响,例如:颗粒物,湿度方面。
关键因素
母材的选择 (母材在耐腐蚀性能方面的影响,大部分是有毒和腐蚀性气体)
管子质量(生产的类型,表面,公差)
连接技术(仅允许焊接,带背气保护TIG轨道式焊接)
通过过程控制和可追溯文档来确保质量(每一焊道的实时参数归档,视觉控制,内窥镜检查)
连接技术
组对最小错变量
焊接气体及背保护气的前送气和后送气时间
无凹陷、裂纹、气孔等焊接缺陷
焊缝银白色或金黄色
封闭式焊机确保气保护效果(无氧化)
轨道式焊接精确控制所有焊接参数
光滑的内部焊接质量
脉冲技术可以很好地控制热输入量
轨道式焊接确保优越的焊缝冶金性能
POLYSOUDE封闭式TIG焊接机头UHP 625 (Ultra High Purity超高纯系列),专为半导体微电子行业不锈钢精密管和微型接头的自动焊接而设计,可满足以上所有连接技术要求,获得优良焊接质量。配有独特可拆卸夹具,确保完美管端对中和较直,以及焊后管线所要求直线度。可焊管外径范围:3-17.3mm。