金属材料表面异物分析,包括表面元素组成,化学态及其在表层的分布测定等,得到表面成分,表面结构,表面电子态及表面物理化学过程等信息.

　　有机异物分析是指针对产品表面的有机异物，根据异物的形态、检测深度及检测面积等差异而选用特定的仪器，对其有机成分进行分析，判定其主成分，从而获取异物信息的一种分析方法。有机异物在放大观察下常常表现出较为透明且性软等特点。目前有机异物的分析手段主要有以下几种: 

　　分析手段,参考标准:

　　一、红外光谱FTIR，有机物定性；有机污染物分析，能进行微区分析，其显微镜测量孔径可到8μm或更小，可方便地根据需要选择样品不同部分进行分析，GB/T 6040-2002 。

　　二、飞行时间二次离子质谱TOF-SIMS，有机材料和无机材料的表面微量分析；表面离子成像；深度剖面分析，优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度，可以检测到ppm或更低的浓度；深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率；小面积分析 ，ASTM E1078-2009 ASTM E1504-2011 ASTM E1829-2009 。

　　三、动态二次离子质谱D-SIMS，产品表面微小的异物分析；氧化膜厚度分析；掺杂元素的含量测定 ，分析区域小，能分析≥10μm直径的异物成分；分析深度浅，可测量≥1nm样品；检出限高，一般是ppm~ppb级别 ，ASTM E1078-2009 ASTM E1504-2011 ASTM E1829-2009 。

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