| 1.触摸屏或工控机全自动控制和记录工艺参数。PLC可编程与触摸屏显示系统，智能温控表与PLC实现数据通讯。 |
| 2.数字式流量监控系统，每一路水由流量计监控。 |
| 3.根据真空度的要求加配罗茨泵，真空度可达10Pa |
| 4.为了工人值守轻松，增加进出气自动平衡系统。（质量流量控制仪准确控制进入炉内各种气体流量，压力控制仪准确控制炉内气氛压力。 |
| 5.收集焦油采用双级冷凝脱焦过滤器净化真空排放气体，有效保护真空泵运转正常。 |
| 6.高性能气体净化器,可将气体氧含量降至1PPMV，露点温度可降至-70℃。 |
| 7多功能操作台可实现远程控制，最远30米距离 |