太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。

　　◆工作温度:300~1300℃ 

　　◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制 

　　◆恒温区长度:1080mm（可根据用户要求定制） 

　　◆温区精度（静态闭管测试）: 

　　600℃＜工作温度＜1200℃:±0.5℃ 

　　300℃≤工作温度≤600℃:±1℃ 

　　◆单点温度稳定性（静态闭管测试）: 

　　600℃＜工作温度＜1200℃:±0.5℃/24h 

　　300℃≤工作温度≤600℃:±1℃/24h 

　　◆温度斜变能力: 

　　最大可控升温速度（300～1300℃）:15℃/min 

　　最大降温速度（1300～900℃）:5℃/min 

　　◆气体流量设定精度:±2％FS 

　　◆气路系统气密性:1×10-7PA.m3/s 

　　◆自动送料装置行程:~2000mm 

　　速度:5~1000mm/min 

　　SiC浆承重 19kg 

　　◆装片数量 400片/管 

　　◆净化台洁净度 100级（10000级厂房） 

　　◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz； 

　　◆冷却水:2～4Kgf/cm2，～8L/min