扩散炉全自动控制系统是新一代扩散炉全自动系统，可实现温度、推拉舟、MFC电磁阀等的全自动控制。无障碍工作时间大于8千小时。其控制精度及质量完全取代进口的同类产品。该系统操作方便、控制精确、稳定可靠、价格合理，特别适合国人的操作习惯。 

　　<系统由DTC（数字温度控制单元）、DPC（数字程序控制单元）和计算机系统。每个炉管都使用独立的DTC和DPC控制，互不影响。四管扩散炉使用四台DTC和四台DPC，共用一台工控计算机管理。工控计算机配套15″TFT高清晰液晶显示屏。 

　　<控制系统使用window／XP操作系统，可选择中文或英文操作界面。先进的HMI人机界面、菜单式管理、五级密码、测量数据直观显示、可储存数千条工艺曲线（每条曲线100步）等。式操作更方便、更可靠。该系统可广泛应用在新扩散炉的升级改造 

　　<监控软件主要由权限设置、监控视窗、设备组态、帮助彩单四部分组成。监控视窗主由图视界面、数控监控界面、故障记录界面、Recipe管理界面、Recipe编写、数据去线记录界面六个界面组成。

　　产品特点:

　　◆采用高强度的CPU处理器控温CPU43P和CJI系列PLC，运行可靠控制精度高，具有自动分布功能 

　　◆采用进口PLC进行上下传递参数，传递速度快，运行稳定 

　　◆ 显示部分采用工业控制机，操作方便，可靠，显示各参数直观，方便查看实时数据曲线和历史曲线 

　　◆ 所有软件具备自动测温区功能，具有事件记录，超温报警，气体偏差报警，断偶报警，过热报警等功能 

　　◆ 在1280℃单点稳定性±0.5℃ 

　　主要技术指标: 

　　◆ 工作温度:600—1290℃ 

　　◆ 恒温区长度:1000mm 

　　◆ 炉管口径:可供4”、5”、6”片 

　　◆ 气路系统:三路主管道HLC、O2、N2，质量流量计控 制，所有管道配置全部采用进口VCR接头 

　　◆工作台:采用层流水平净化，净化等级:100级， 

　　◆ 台面全部采用不锈钢​