双工位真空炉

名称:双工位真空炉

供应商:青岛福润德微电子设备有限公司

价格:145000.00元/台

最小起订量:1/台

地址:青岛市城阳区北万工业园

手机:13792802165

联系人:齐小姐 (请说在中科商务网上看到)

产品编号:83157026

更新时间:2021-03-22

发布者IP:27.219.179.34

详细说明

  双工位立式真空烧结炉是为满足半导体器件和磁性材料行业的大批量、高生产率的要求而设计的一种较先进的烧结设备,主要用于管芯和管座的烧结,也可以做扩散、退火设备用。

  主要技术指标:

  1工作温度:800℃~1200℃

  2单点温度控制精度:±2℃/24h

  3恒温区长度:400mm

  4最高升温功率:22KW

  5升温时间:≤50分钟(室温升至1000℃)

  6真空电炉加热功率:1KW

  7设备总功率:28KW

  8真空室尺寸:φ350mm,高600mm

  9真空度:3 x 10-3Pa

  10抽真空时间:<1h(注:初始开机时间),连续工作<20min

  11主机尺寸:2050 x 1050 x 2700mm(长x宽x高)

  12电控箱尺寸:750 x 850 x 1800(mm)

  13供电电源:三相380V

  14主机重量:2000Kg