信息描述:

　　1.设计温度:1200℃

　　2.炉膛材质:优质气炼石英管

　　3.恒温区:根据客户要求（恒温区内温差±1℃）

　　4.控制温区点数:石英管外3个测温点，采用3支铂铑热电偶；石英管内1个固定测温点，采用K型热电偶；石英管内1个可移动测温点，K型热电偶，用于测量温度分布及校准。

　　5.加热元件:优质电阻丝

　　6.最大加热功率根据工艺要求而定

　　7.气路配件材料卡套密封；两路气体采用质量流量计控制,方便设定气体流量。

　　8. 极限真空预抽真空 :一级机械泵2X—4（1.0Pa  10min）

　　9. 外形参考尺寸可定

　　10. 控温精度:±1℃。

　　11. 电源:三相五线制，AC380V 50Hz。

　　12. 温控表:日本岛电，25段可编程序。

　　13. 控制方式:过零触发。

　　14. 真彩触摸屏+PLC程序控制

　　15. 气路系统气密性:1×10-7 Pa·M3/S

　　16. 最大升温速率:15℃/Min

　　17. 质量流量计精度等级:0.2%FS—0.5%FS:

　　18. 质量流量计测量范围:依据客户工艺选择

　　19. 每台流量计前各有一个过滤阀

　　20. 每条管路各配有一个单向阀来杜绝气体的倒流。

　　21. 工作腔体压力通过数字真空计直观显示。

　　22. 工艺气体在进入工作腔体前经过混气包来实现工艺气体按比例混合

　　23.  所有气路管件包括阀门均采用耐腐蚀不锈钢（可耐H2S气体高温工作环境）