可完全代替进口炉体，优质加热炉丝，进口保温材料，采用国外先进加工工艺，炉体可长期使用在高温下，处理12英寸以下硅片，工作温度2000℃-1286℃。

　　主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可处理2-8英寸硅片的扩散工作。

　　产品特性:

　　◆满足2"-8"立式、卧式晶圆扩散炉"     

　　◆保温材料:英国摩根进口保温层

　　◆绝缘材料:高精度99瓷拉条绝缘子

　　◆使用温度:350℃—1300℃

　　◆外  壳:不锈钢板/铝板

　　◆端  口:优质氧化铝氧化锆

　　◆控温段:3-5段控温

　　◆ 口  径:Φ80mm—Φ450mm

　　◆恒温区:100-1300mm

　　按客户的炉型要求，可内衬高纯刚玉管或SiC管