pecvd设备

名称:pecvd设备

供应商:青岛福润德微电子设备有限公司

价格:100000.00元/台

最小起订量:1/台

地址:青岛市城阳区北万工业园

手机:13792802165

联系人:齐小姐 (请说在中科商务网上看到)

产品编号:83126478

更新时间:2015-12-16

发布者IP:27.219.179.34

详细说明

  该设备主要用于太阳能电池(1200*600 *3.2mm板)在生产线中进行连续退火(烧结、固化)的大尺寸腔体专用设备。该类设备还可用于半导体器件的固化、烧结等应用(腔体尺寸可订制)。 

  该设备具有多项专利,采用国内首创循环热风的加热方式,实现大腔体内部的温度均匀性好;首创用抽出腔内热风经特殊冷阱冷却后再回送到腔内冷却器件的方式,旨在使腔体内的气氛浓度不变,温度逐渐降低;首创特殊链板式输送方式,使大尺寸链带轻便、基本免维护、传动平稳、无跑偏;弹性涨紧机构保证链带在传动中对热胀、冷缩自动实现涨紧;特别适用于大幅面太阳能电池(板)的均匀加热和冷却,实现电池板连续烧结、退火及固化工艺。 

  ■ 技术指标 

  ◆ 太阳能电池尺寸:1200*600*3.2mm(器件尺寸可依用户产 

  品确定)  ◆ 最高工作温度:450℃ 

  ◆ 设备外形尺寸:18500~23000*2500*2000mm(可依产品订制)  ◆ 四温区:升温、恒温、控制冷却、冷却区 

  ◆ 恒温区温度:120-450℃随意设定(依据工艺)  ◆ 温度均匀性:≤±5℃/2h 

  ◆ 恒温区长度4000~12000mm(订制)  ◆ 首创特殊链带有效宽度:1300mm (订制) 

  ◆ 链带带速:500~800mm/min可调 (订制)  ◆ 链带具有吹扫功能       

  ◆  链带具有吹扫功能  ◆ 首创特殊冷阱冷却方式 

  ◆  设置工艺气体补气口:每段双口(订制)  ◆ 加热器功率:加热区每段(3000mm)32-40KVA,正常工作功 

  率每段(3000mm)16-20KVA 

  ◆  程序控制:具有链带闭环控制和加热区超温、断偶、短路 

  报警和保护功能  ◆  常规冷却水冷却