LED专用炉主要满足LED芯片制造行业，对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。

　　特点:

　　★关键件全部采用进口件，具有高可靠性。

　　★具有可编程的升、降温功能。

　　★具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。

　　★可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线最多有九步。

　　★曲线间可以任意链接、重复。

　　★具有高抗干扰能力。

　　★具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。

　　★可为您提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统。

　　主要技术参数:

　　★可配工艺管数量:1~4管/台；        ★工作温度范围:400～1300℃；

　　★恒温区长度及精度:300～1000mm    600~1280℃±0.5℃；

　　★单点温度稳定性:600～1280℃±0.5℃/24h；     ★最大可控升温速度:15℃/min

　　★最大降温速度:5℃/min