详细说明
- 功能特性:
用于行业 | 钟表行业、3C行业、五金行业、精密模具业、工具行业等 |
用于产品 | 表壳表带、钻头、硬质合金、铣刀、冲棒标准件模具、成型模具等 |
镀膜效果 | 钛金、玫瑰金、香槟金、日本金、炫银、七彩、宝石兰、玫瑰红、黑色等 |
- 详细介绍:
FOXIN-PVD 多弧离子溅射镀膜机型号(直径1.2mm以内) |
性能型号 | PVD-0708 | PVD-0809 | PVD-0910 | PVD-1012 | PVD-1212 | PVD-1215 |
真空室尺寸:mm | Ф700×H800 | Ф800×H900 | Ф900×H1000 | Ф1000×H1200 | Ф1200×H1200 | Ф1200×H1500 |
真空室结构 | 立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统 |
真空获得系统 | 维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵(具体型号可根据客户的要求进行配置) |
真空测量系统 | 一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS) 一台薄膜规(MKS) |
电源类型 | 直流电源、中频电源、脉冲电源 (偏压电源、弧电源) |
极限真空指标 | 空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa |
电弧源 | 6台-8台 | 6台-8台 | 8台-12台 | 8台-12台 | 10台-14台 | 10台-14台 |
200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A |
偏压电源 | 20KW/1台 | 20KW/1台 | 20KW/1台 | 30KW/1台 | 30KW/1台 | 30KW/1台 |
磁控电源 | 1台-2台 | 1台-2台 | 2台-3台 | 2台-3台 | 2台-3台 | 2台-3台 |
工件转动方式 | 多轴行星式公自转、变频调速(可控可调) |
工件烘烤温度 | 常温-300℃至450℃-600℃可控可调(PID温控) |
工艺气体 | 3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统 |
氩气、氮气、氧气、乙炔等 |
冷却方式 | 水冷却循环方式,另配工业冷却水塔或工业冷水机(制冷机)或深冷系统。(客户提供) |
控制方式 | PLC+触摸屏操作或计算机控制,手动、半自动、自动方式、 |
供给指标 | 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、 |
报警及保护 | 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警,并执行相应保护措施及电气联锁功能。 |
整机总功率 | 25~65KW | 45~85KW | 65~105KW | 85~115KW | 95~125KW | 100~130KW |
输出频率 | 电压380V±5% ,频率50Hz(可根据客户国家用电标准配置) |
设备占地面积 | 15~50m² | 15~50m² | 25~55m² | 25~55m² | 35~55m² | 35~55m² |
备注 | 可根据用户要求设计制造非标设备,可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。 |
- 应用范围:
佛欣真空专注真空镀膜设备制造14年!(SINCE 2000)
术业专攻:多弧离子镀膜机;磁控溅射镀膜设备;多弧离子溅射镀膜机
质量监测:佛欣真空实行严格的内审和真空行业标准,产品和公司全面通过欧盟CE和ISO9001:2008国际质量管理体系认证!
愿景使命:把最出色的,最人性化的,最适合的真空镀膜设备和售后服务顺利交付给千千万万的客户,并为客户创造价值。