详细说明
国家有色金属及电子材料分析测试中心从事多硅和化合物半导体材料检测,可一次完成硅片厚度、总厚度变化、平整度、局部平整度、翘曲度、类型、电阻率的测试和分类,并可作图;可进行硅抛光片和外延片的表面质量分析检测,包括颗粒尺寸及数量的分类;划伤、桔皮、凹坑等表面质量的检查;利用x射线荧光光谱方法对硅抛光片和外延片的表面金属进行非破坏性检测;红外氧碳测试仪是用红外吸收法分别测定硅单晶中的间隙氧和替位碳含量,并可计算外延片的外延层厚度。
中心拥有美国Thermo Fisher公司最新型号的Element GD辉光放电质谱仪(GDMS),适用于金属中ppb级及其以上含量的杂质分析,可以检测5N、6N高纯铝、铜、锌、镍、钴、多晶硅中的痕量和超痕量杂质元素。
国家有色金属及电子材料分析测试中心,是中国权威的第三方金属检测机构,实验室通过ISO 17025国家实验室认可(CNAS),中国计量认证(CMA),国际航空材料认证(NADCAP),为客户提供科学的产品检测、评价方案,满足进出口及工程检测等各种需求。
关键词:
多晶硅检测,多晶硅测试,多晶硅化验,多晶硅纯度分析,多晶硅成分分析,多晶硅分析,多晶硅检测中心,多晶硅检测机构,多晶硅检测实验室,多晶硅测试中心,多晶硅测试机构,多晶硅测试实验室,多晶硅化验中心,多晶硅化验机构,多晶硅化验实验室,多晶硅分析中心,多晶硅分析机构,多晶硅分析实验室。
半导体材料检测,半导体材料测试,半导体材料化验,半导体材料纯度分析,半导体材料成分分析,半导体材料分析,半导体材料检测中心,半导体材料检测机构,半导体材料检测实验室,半导体材料测试中心,半导体材料测试机构,半导体材料测试实验室,半导体材料化验中心,半导体材料化验机构,半导体材料化验实验室,半导体材料分析中心,半导体材料分析机构,半导体材料分析实验室。