简介:

　　美国AEP Technology公司主要从事半导体检测设备, MEMS检测设备, 光学检测设备的生产制造，是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。公司始终致力于微观表面“三维”检测技术和设备的研发及推广，历经近十年努力，已为30多个国家提供NanoMap系列三维表面形貌测量系统。

　　NanoMap-PS是一款专门为nm级薄膜测量研发的无需防震台即可测量的接触式台阶仪。

　　特点:

　　1.     扫描性能稳定，无需防震台

　　2.     超低(0.01mg)接触力

　　3.     一体化彩色摄像机在扫描同时可直接观察样品

　　4.     无需安装一键操作

　　5.     简单一键操作与用户友好的操作界面

　　测量范围:

　　测量表面可以覆盖多种材料表面:金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，对于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高，稳定性好。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.1nm 。

　　应用领域:

　　1.     薄膜厚度

　　2.     二维表面轮廓

　　3.     二维粗糙度 ISO24578

　　4.     划痕磨损的宽度、深度和面积

　　5.     量纲分析

　　6.     微电子表面分析

　　7.     MEMS器件表面分析

　　8.     太阳能电池表面分析

　　9.     纳米材料研究

　　主要技术参数

　　垂直分辨率: 0.1nm

　　重复性: 0.5nm(1Sigema @1um)

　　垂直范围: 1000um

　　扫描范围: 5000um